ЕТКС. Оператор элионных процессов (5-й разряд)


ЕТКСЕдиный тарифно-квалификационный справочник работ и профессий рабочих
Выпуск 20Полупроводниковое производство
  § 35Оператор элионных процессов (4-й разряд, 5-й разряд, 6-й разряд)

Характеристика работ. Ведение элионного процесса обработки (легирование, микрофрезерование, микросварка, резка, создание р-п переходов и т.д.) на установках универсального типа и на установках с программным управлением. Настройка установок на заданный технологический режим. Выявление, определение величины и устранение вакуумных течей. Ремонт и наладка различной сложности узлов и механизмов установок.

Должен знать: кинематическую и электрическую схемы установок универсального типа; назначение и устройство контрольно-измерительных приборов; правила и методы наладки установок на заданный режим; правила настройки приборов для контроля процесса обработки; основные методы подготовки и ввода информации в вычислительную машину для управления технологическим процессом; способы устранения неисправностей в процессе работы установок; основы электротехники и вакуумной техники.