ЕТКС | Единый тарифно-квалификационный справочник работ и профессий рабочих |
Выпуск 20 | Полупроводниковое производство |
§ 22 | Шлифовщик-полировщик по прецизионной обработке полупроводниковых материалов (2-й разряд, 3-й разряд, 4-й разряд, 5-й разряд, 6-й разряд) |
Характеристика работ. Тонкое шлифование (полирование) пластин и особо точных деталей на станках различных типов. Полирование с применением синтетических полировальных материалов, полирование на оптических смолах. Полирование с применением оптического контакта. Обработка режимов шлифования (полирования). Доводка сепараторов на станках двухстороннего шлифования. Выявление причин и устранение неисправностей обслуживаемого оборудования.
Должен знать: конструкцию, способы и правила проверки на точность различных типов оборудования; способы установки, крепления и выверки сложных деталей; методы определения последовательности обработки; оснастку и подготовку оборудования для полирования пластин на оптических смолах; способы подготовки смолы к работе; способы приготовления защитного лака для полирования с применением оптического контакта; природу образования нарушенных слоев в шлифованных и полированных пластинах; виды брака при тонкой обработке и методы их обнаружения и устранения.
Примеры работ
1. Пластины - полирование на смоле окисью хрома (величина зерна не более 1 мкм).
2. Пластины - двухстороннее шлифование, полировка.