ЕТКС. Шлифовщик-полировщик по прецизионной обработке полупроводниковых материалов (6-й разряд)


ЕТКСЕдиный тарифно-квалификационный справочник работ и профессий рабочих
Выпуск 20Полупроводниковое производство
  § 22Шлифовщик-полировщик по прецизионной обработке полупроводниковых материалов (2-й разряд, 3-й разряд, 4-й разряд, 5-й разряд, 6-й разряд)

Характеристика работ. Тонкое шлифование (полирование) пластин и особо точных деталей на станках различных типов. Полирование с применением синтетических полировальных материалов, полирование на оптических смолах. Полирование с применением оптического контакта. Обработка режимов шлифования (полирования). Доводка сепараторов на станках двухстороннего шлифования. Выявление причин и устранение неисправностей обслуживаемого оборудования.

Должен знать: конструкцию, способы и правила проверки на точность различных типов оборудования; способы установки, крепления и выверки сложных деталей; методы определения последовательности обработки; оснастку и подготовку оборудования для полирования пластин на оптических смолах; способы подготовки смолы к работе; способы приготовления защитного лака для полирования с применением оптического контакта; природу образования нарушенных слоев в шлифованных и полированных пластинах; виды брака при тонкой обработке и методы их обнаружения и устранения.

Примеры работ

1. Пластины - полирование на смоле окисью хрома (величина зерна не более 1 мкм).

2. Пластины - двухстороннее шлифование, полировка.